【装置紹介】電子顕微鏡(SEM)

品質向上の取り組みの一環として、弊社で使用している分析装置や加工機について動画でご紹介します。

動画より

  • エレファンテックの分析装置であるSEMおよびCPやコーターなどの加工機を紹介します。
  • こちらはクロスセクションポリッシャー 通称CPと呼ばれるものです。
    こちらに試料をセットして上からイオンビームをあてることにより研磨を行います。
    カッターやミクロトームを使うと切断面がつぶれてしまい明瞭でない可能性があります。CPは断面をイオンビームによりたたき落とすため、SEMレベルでの観察に適した凹凸のない明瞭な断面を得ることができます。
    クロスセクションポリッシャー

  • こちらが研磨前の試料の状態です。
  • これに数時間イオンビームをあてるとこのように削られ研磨されます。
  • こちらは電子顕微鏡通称 [SEM] と呼ばれる装置です。
  • 試料はこのようなものをセットして真空にすることにより観察します。
    電子顕微鏡は一般的な光学顕微鏡と違い、電子を当てることにより材料から放出される電子を検出するため、細かい領域を高分解能で観察することが可能です。
    試料はこのようなものをセットして真空にすることにより観察します。
  • 先ほどセットしたサンプルを観察している画面です。このようにめっきの結晶状態の観察などを行っております。
    電子顕微鏡(SEM)

試験方法・装置紹介

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